扬州API XD系列激光干涉仪

XD 激光干涉仪，能够 一次安装同时测量 数控直线轴的线性定位误差(包括定位精度、重复定位精度、反向间隙)、直线度（XX 方向和YY 方向）等三个参数，测量效率相比传统激光干涉仪提高三倍以上。该配置还可以通过选配件来测量两个直线轴的垂直度、小角度精度等。

特点和实现功能：

• 线性定位误差测量：包括定位精度、重复定位精度、反向间隙

• 直线度测量：包括垂直于运动轴方向的两个方向（竖直、水平）的直线度

• 一次安装可以同时测量以上多个参数，无需更换光学组件，效率提高数倍以上

• 直线度和角度测量中不怕断光，可以替代准直仪使用，对安装进行指导调整

• 安装灵活方便，可以选择多种安装方式，即使在苛刻的拥挤环境都能便捷安装

• 环境适应性广

1 、XD  激光干涉仪的设计理念

• 提高激光干涉仪的测量效率, 减少机床的停产时间 减少机床的停产时间 。

• 测量精度: 0.5 ppm ( 标准型) 。

• 两点调光线, 设置操作简单容易 。

• 常规测量无需三角架，结构紧凑，便于携带 。

XD 激光干涉仪，一次设置能够同时测量数控直线轴的多个误差参数（单轴多 6 个误差参数）。减少了机床的停产时间，提高了实际测量精度（测量该轴的各误差参数时, 无时间差）, 操作使用容易。传统干涉仪需要数天时间才能完成的测试，API XD 激光干涉仪只需 2 到 3 个小时。XD-5/6D 激光干涉仪节省机床停产时间达 80%以上。多参数同步测量所揭示的机床真实误差状况是传统干涉仪所无法做到的。

2、先进的结构设计

API 公司采用了稳定钢球与绝热层的双重定位设计（如下图），将干涉镜用高绝热层与激光器主机隔开，从而避免了干涉镜受热变形，用稳定钢珠将干涉镜前端的干涉区与下端底盘定位相连，从而使激光管及电路板发热而引起的热膨胀方向沿稳定钢珠中线向后，使得干涉镜不受影响，保证了测量准确性。

3 、线性测量原理

利用氦氖激光作为长度基准，对数控设备（加工中心、三座标测量机等）的位置精度（定位精度、重复定位精度、反向间隙等）进行精密测量的精密测量。

激光干涉仪通过接收到的激光的明暗条纹变化，再通过电子细分，从而知道距离的细微和准确变化。

4 、直线度测量原理

PSD 是一种新型半导体光电位置敏感探测器件在激光干涉仪的反射镜上集成一个高精度的 PSD 位置敏传感器，进行测量，不仅测出直线轴的定位精度，同时也可以将轴的两个方向直线度同时测出，大大提高了测量效率，且稳定性好、精度高,而且也适合长距离的同时也是二维直线度误差的测量。

利用 API 激光干涉仪还可以对机床长导轨进行直线度测量，使用非常方便。一次安

装测量即可得到两个方向的直线度误差。

5、XD3LS  主要参数指标

6、测量案例